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TLT300MP是根據(jù)當(dāng)前實驗室客戶需求開發(fā)的實驗用12英寸CMP設(shè)備。該設(shè)備擁有自主知識產(chǎn)權(quán)的創(chuàng)新技術(shù)，配備性能優(yōu)越的拋光單元，兼容8/12英寸晶圓，適用于多種材質(zhì)，可實現(xiàn)晶圓表面的超高平整度，工藝搭配靈活、滿足高精度制程技術(shù)需求。