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氣相沉積設備LPCVD MM650

低壓化學氣相沉積設備,工藝成熟，穩定，較早用于TOPcon電池量產的LPCVD設備。

產能：

9400PCS/小時@182*182電池

產線平均良率較高，鍍膜均勻性好；

自有專利的布氣系統，增加了流場均勻性和可控性

良率高

自有專利的流程設計帶來量產中高的良率，鍍膜均勻性好。
石英管周期長

通過特殊設計的石英管固定方式和低的耗氣量，實現6個月的使用周期。
溫場穩定

通過合理的加熱絲布局，具有較好一致性好和可控性，從而使溫場穩定可控。

+86-0510-81816658

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